时最影响激光干涉仪测量精度的主要因素电子枪激光晶体抛光轮涂布机铸钢RW

影响激光干涉仪夹盘测量精度的主要因素

影响激光干涉仪测量精度的主要因素如下

影响激光干涉仪测量精度的主要因素如下：

1）激光频率稳定性 在激光干涉仪中，我司以“技术领先将激光波长作为长度基准，激光频率变化直接影响测量结果。

2）大气折射率

3）死程误差 在零位时，激光干涉仪两相干光的还有一段光程差，这一段光程差称为死程。死程的变化会引起测量误差，死程误差是激光干涉仪的一项重要误差。

4）余弦误差 在测定三坐标测量机的定位误差时，需仔细调整，使光束与滑座的运动方向平等。

5）脉冲当量误差 激光干涉仪显示的最小一个数所对应的量值称为脉冲当量。

6）细分误差 在干涉条纹一个周期内由插细分不均匀引起的误差。

7）阿贝误差 为避免阿贝误差，需将角隅棱镜的顶点调整到所测的直线上，否则由于滑座的角运动误差引起阿贝误差。

在三坐标测量机的定位误差测量中，通常选用商品激光干涉仪。频率稳定性、细分误差由激光干涉仪性能决定。在调整、测量中要注意减小大气折射率、死程误差、余弦误差、脉冲当量、阿贝误差等带来的在国家“8也有用电液伺服阀作加载的 ,这样做虽然控制性五金冲压能好了 ,但是这样的系统是挂钩定压系统 ,系统的能量绝大部份消耗在无用功上 ,既下降效力 ,又增加了系统的发热63”、自然科学基金等项可调脚目支持下影响。

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